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SEM画像ノイズをチェックし、SEMのカラムの固体差(出来,不出来)、安定性を確認する
SEM画像の隣接するピクセルの依存性をチェックする事により、カラムの固体差や安定性をチェック・確認するツールです。装置管理や、新規装置の受け入れ検査に使う事ができます。詳細は、SDチェック-ReadMe1st.pdf を参照してください。
SEM画像ノイズチェックプログラムのダウンロードページへ
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